ولې د UHP ګاز رسولو سیسټمونه دومره مهم دي؟
په سیمیکمډکټر تولید کې - د ایچنګ، CVD، ایون امپلانټیشن، او لیتوګرافي په څیر پروسې - د پروسې ګازونه باید خورا لوړ پاکوالی ولري، معمولا 99.9999٪ (6N) یا حتی 99.99999٪ (7N). حتی د ppb (په هر ملیارد کې برخې) یا ppt (په هر ټریلیون کې برخې) کچه کې ککړونکي تعقیب کړئ - لکه رطوبت یا اکسیجن - کولی شي وژونکي نیمګړتیاوې رامینځته کړي لکه د ګیټ آکسایډ پتلی کول، فلزي خلا، یا په ویفرونو کې لنډ سرکټونه، په بالقوه توګه ټول لوټونه سکریپ کوي.
له همدې امله د UHP ګاز رسولو سیسټم ماموریت دا دی چې ګازونه له سرچینې څخه د پروسس وسیلې ته د پاکوالي له کوم کمښت پرته انتقال کړي، په هره نقطه کې د ککړتیا او لیکیدو مخه ونیسي.
ولې د EP ټیوبینګ د UHP سیسټمونو د ملا تیر ګرځي؟
د EP (الیکټروپولش شوی) ټیوب د سټینلیس سټیل څخه جوړ شوی چې د الیکټرو کیمیکل پالش کولو پروسې څخه تیریږي، د عکس په څیر داخلي سطح تولیدوي. دا دا د UHP ګاز ویش لپاره لازمي "شریان" ګرځوي.
حتمي پاکوالی - په سرچینه کې مخنیوی
د EP پروسس کول د داخلي سطحې ناهموارۍ (Ra) 0.13 µm – 0.25 µm یا حتی ټیټ ته راټیټوي. دا خورا نرم پای مایکروسکوپي درزونه او د جذب ځایونه له منځه وړي، د ذراتو، فلزي ایونونو، یا رطوبت لپاره هیڅ ځای نه پریږدي چې ودریږي.
د زنګ وهلو مقاومت لوړ شوی - د پاکوالي ساتنه
د الکترو پولش کولو مرحله د سطحې ناپاکۍ لرې کوي او د کروم اکسایډ بډایه غیر فعال طبقه جوړوي، چې د Cl₂، CF₄، او HCl په څیر د زنګ وهونکو ګازونو په وړاندې د مقاومت د پام وړ ښه والی راولي. دا د پایپ دیوال زنګ وهلو مخه نیسي چې کولی شي ذرات یا د ګازو ککړتیا رامینځته کړي.
د جریان موثریت ښه شوی او چټک پاکول
نرم داخلي دیوال د جریان مقاومت کموي او د سیسټم پاکول او د ګازو بدیل ګړندی کوي. په هغو پروسو کې چې د ګازو ګړندي بدلون ته اړتیا لري، دا د دورې وختونه لنډوي او د فابریکې تولید زیاتوي.
غوره مواد - د "تاج" معیار
د لوړ کیفیت EP ټیوبونه د 316L VIM-VAR (ویکیوم انډکشن میلټینګ + ویکیوم آرک ریمیلټینګ) سټینلیس سټیل څخه جوړ شوي. دا دوه ګونی ویلټ پروسه د اساس فلز خورا لوی پاکوالی تضمینوي، کوم چې د EP وروستي فعالیت ترلاسه کولو لپاره بنسټیز شرط دی.
د غوښتنلیک کلیدي سناریوګانې
•
اصلي پروسې- د ایچنګ، CVD، ایون امپلانټیشن، او لیتوګرافي لپاره د لوړ پاکوالي تعامل کونکي ګازونو تحویل.
•
ځانګړي ګازونه- د سوځیدونکي، زهرجن، یا زنګ وهونکي ګازونو لکه SiH₄، PH₃، Cl₂، او BCl₃ خوندي اداره کول. د خورا خطرناکو ګازونو لپاره، د ډبل کنټینمینټ EP ټیوبونه ډیری وختونه کارول کیږي (د ګاز لپاره داخلي ټیوب، بهرنۍ جاکټ خالي شوی یا د لیک څارنې لپاره د نایتروجن سره پاک شوی).
•
کریټیکل هارډویر- د ګازو د توزیع تختو (VMBs)، د ګازو کابینې، او د پروسس وسیلو هک اپونو کې کارول کیږي چیرې چې د داخلي سطحو خورا پاکول لازمي دي.
د ټیوب کولو هاخوا: د بشپړ UHP سیسټم لپاره نور اړین توکي
د بشپړ بشپړتیا ډاډ ترلاسه کولو لپاره، سیسټم باید دا هم شامل کړي:
•
په بشپړ ډول اتوماتیک اوربیټل ویلډینګ- د ISO ټولګي 5 (کلاس 100) یا غوره پاکو خونو کې ترسره کیږي، د لاسي ویلډینګ توپیرونه او د ککړتیا خطرونه له منځه وړي.
•
د فلزي مخ مهر کولو ټول سامانونه- لکه د VCR® یا W-Seal ډولونه، کوم چې د صفر لیک فعالیت لپاره په فلزي ګازکیټونو تکیه کوي.
•
سخته پاکول او بسته بندي- د EP ټیوبونه معمولا د لوړ پاکوالي اوبو سره پاکیږي، وچیږي، او د نایتروجن سره پاکیږي مخکې لدې چې په پاک خونه بسته بندۍ کې دوه ځله بسته شي ترڅو د نصب کولو پورې د دوی "لکه څنګه چې لیږل کیږي" پاکوالی وساتي.
د EP ټیوب کول یوازې یو پایپ نه دی - دا د سیمیکمډکټر ګاز رسولو کې د دفاع لومړۍ کرښه ده. د دې خورا نرمه سطحه، غوره زنګ وهلو مقاومت، او د غوره موادو پاکوالی په مستقیم ډول د ویفر حاصل، د وسیلې اعتبار، او په ټولیز ډول د فیب ګټې اغیزه کوي. د فرعي 5nm نوډونو او تل سخت عیب بودیجې په نړۍ کې، د EP ټیوب کول اختیاري ندي - دا بنسټیز دی.
د پوسټ وخت: اګست-۰۵-۲۰۲۶