د بریښنایی انجینرۍ سیسټمونو کې د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونو پلي کول

د 909 پروژې خورا لوی پیمانه د مدغم سرکټ فابریکه د نهم پنځه کلن پلان په جریان کې زما د هیواد د بریښنایی صنعت یوه لویه ساختماني پروژه ده چې د 0.18 مایکرون اوږدوالی او 200 ملی میتر قطر سره چپس تولیدوي.

د خورا لوی پیمانه مدغم سرکټونو تولید ټیکنالوژي نه یوازې د لوړ دقیق ټیکنالوژۍ لکه مایکرو ماشین کولو کې شامله ده ، بلکه د ګاز پاکوالي کې لوړې اړتیاوې هم ځای په ځای کوي.
د پروژې 909 لپاره د ګازو لوی عرضه د متحده ایالاتو د Praxair Utility Gas Co. Ltd. او په شانګهای کې د اړوندو خواوو ترمنځ د ګډ شرکت لخوا چمتو کیږي ترڅو په ګډه د ګاز تولید فابریکه جوړه کړي. د ګازو تولید فابریکه د 909 پروژې فابریکې ته نږدې ده. ودانۍ، نږدې 15,000 مربع متره ساحه پوښي. د مختلف ګازونو پاکوالي او تولید اړتیاوې

د لوړ پاکوالي نايتروجن (PN2)، نايتروجن (N2)، او د لوړ پاکوالي اکسیجن (PO2) د هوا د جلا کولو له لارې تولیدیږي. د لوړ پاکوالي هایدروجن (PH2) د الکترولیسس لخوا تولید کیږي. ارګون (Ar) او هیلیم (He) له بهر څخه اخیستل کیږي. نیم ګاز په 909 پروژه کې د کارولو لپاره پاک او فلټر شوی. ځانګړي ګاز په بوتلونو کې چمتو کیږي، او د ګاز بوتل کابینه د مربوط سرکټ تولید فابریکې په معاون ورکشاپ کې موقعیت لري.
په نورو ګازونو کې د پاکې وچې کمپریس شوي هوا CDA سیسټم هم شامل دی، د کارونې حجم 4185m3/h، د فشار د اوسیدو نقطه -70°C، او د استعمال په ځای کې په ګاز کې د ذرې اندازه له 0.01um څخه زیاته نه وي. د تنفسي فشار شوي هوا (BA) سیسټم، د کارونې حجم 90m3/h، د فشار د شنو نقطه 2℃، په ګاز کې د ذرو اندازه د 0.3um څخه زیاته نه ده، د پروسس ویکیوم (PV) سیسټم، د کارولو حجم 582m3/h، د کارونې په ځای کې د خلا درجه -79993Pa. د پاکولو ویکیوم (HV) سیسټم، د کارونې حجم 1440m3/h، د کارونې په نقطه کې د ویکیوم درجه -59995 Pa. د هوایی کمپرسور خونه او د ویکیوم پمپ خونه دواړه د 909 پروژې فابریکې ساحه کې موقعیت لري.

د پایپ موادو او لوازمو انتخاب
هغه ګاز چې د VLSI تولید کې کارول کیږي د پاکوالي خورا لوړ اړتیاوې لري.د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونهمعمولا د پاک تولید چاپیریال کې کارول کیږي، او د دوی د پاکوالي کنټرول باید د استعمال شوي ځای د پاکوالي کچې سره سم یا لوړ وي! سربیره پردې ، د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونه اکثرا د پاک تولید چاپیریال کې کارول کیږي. خالص هایدروجن (PH2)، د لوړ پاکوالي اکسیجن (PO2) او ځینې ځانګړي ګازونه د اور وړ، چاودیدونکي، احتراق ملاتړ کونکي یا زهرجن ګازونه دي. که چیرې د ګاز پایپ لاین سیسټم په ناسم ډول ډیزاین شوی وي یا مواد په ناسم ډول غوره شوي وي، نه یوازې د ګاز په نقطه کې د کارول شوي ګاز پاکوالی به کم شي، بلکې دا به ناکام شي. دا د پروسې اړتیاوې پوره کوي، مګر دا د کارولو لپاره ناامنه ده او د پاکې فابریکې د ککړتیا سبب ګرځي، د پاکې فابریکې خوندیتوب او پاکوالي اغیزه کوي.
د کارونې په وخت کې د لوړ خالص ګاز کیفیت تضمین نه یوازې د ګاز تولید، د پاکولو تجهیزاتو او فلټرونو دقت پورې اړه لري، بلکې د پایپ لاین سیسټم کې د ډیری فاکتورونو لخوا هم په لویه کچه اغیزمن کیږي. که موږ د ګاز تولید تجهیزاتو، د پاکولو تجهیزاتو او فلټرونو باندې تکیه وکړو، دا په ساده ډول ناسمه ده چې د ګاز پایپ کولو سیسټم ناسم ډیزاین یا د موادو انتخاب لپاره د جبران کولو لپاره د نه حده لوړ دقت اړتیاوې وضع کړئ.
د 909 پروژې د ډیزاین پروسې په جریان کې، موږ "د پاکو بوټو ډیزاین کولو کوډ" GBJ73-84 (اوسنی معیار دی (GB50073-2001))، "د کمپریس شوي هوایی سټیشنونو ډیزاین لپاره کوډ" GBJ29-90، "کوډ د اکسیجن سټیشنونو ډیزاین لپاره" GB50030-91، "د هایدروجن او اکسیجن سټیشنونو ډیزاین لپاره کوډ" GB50177-93، او د پایپ لاین موادو او لوازمو انتخاب لپاره اړوند تخنیکي اقدامات. "د پاکو بوټو د ډیزاین لپاره کوډ" د پایپ لاین موادو او والوز انتخاب په لاندې ډول بیانوي:

(1) که چیرې د ګاز پاکوالی له 99.999٪ څخه ډیر یا مساوي وي او د اوښ نقطه یې د -76 درجې C څخه ټیټ وي ، 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپ (316L) د بریښنایی پولش داخلي دیوال سره یا OCr18Ni9 سټینلیس فولادو پایپ سره (304) الیکټروپول شوی داخلي دیوال باید وکارول شي. والو باید د ډایفراګم والو یا د بیلو والو والو وي.

(2) که چیرې د ګاز پاکوالی له 99.99٪ څخه ډیر یا مساوي وي او د اوښ نقطه یې د -60 درجې C څخه ټیټه وي ، د OCr18Ni9 سټینلیس سټیل ټیوب (304) د بریښنایی پولش داخلي دیوال سره باید وکارول شي. د بیلو والوزونو پرته چې باید د سوځیدونکي ګاز پایپ لاینونو لپاره وکارول شي، بال والوز باید د نورو ګازو پایپ لاینونو لپاره وکارول شي.

(3) که چیرې د وچې کمپریس شوې هوا د شنو نقطه د -70 ° C څخه ټیټه وي، د OCr18Ni9 سټینلیس فولاد پایپ (304) د پولش داخلي دیوال سره باید وکارول شي. که چیرې د اوښ نقطه له -40 ℃ څخه ټیټه وي ، نو د OCr18Ni9 سټینلیس سټیل پایپ (304) یا د ګرم ډیپ ګالوانیز سیملیس فولاد پایپ باید وکارول شي. والو باید د بیلو والو یا د بال والو وي.

(4) د والو مواد باید د نښلونکي پایپ موادو سره مطابقت ولري.

د مشخصاتو او اړونده تخنیکي اقداماتو اړتیاو سره سم ، موږ په عمده ډول د پایپ لاین موادو غوره کولو پرمهال لاندې اړخونه په پام کې نیسو:

(1) د پایپ موادو هوا پاریدو وړتیا باید کوچنۍ وي. د مختلفو موادو پایپونه مختلف هوا پاریدو وړتیا لري. که چیرې پایپونه چې د هوا ډیر پراخوالي سره غوره شي، ککړتیا نشي لرې کیدی. د سټینلیس سټیل پایپونه او د مسو پایپونه په اتموسفیر کې د اکسیجن د ننوتلو او ککړتیا مخنیوي کې غوره دي. په هرصورت، څرنګه چې د سټینلیس سټیل پایپونه د مسو پایپونو په پرتله لږ فعال دي، د مسو پایپونه ډیر فعال دي چې په فضا کې رطوبت ته اجازه ورکوي چې د دوی داخلي سطحو ته ننوځي. له همدې امله ، کله چې د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونو لپاره پایپونه غوره کړئ ، د سټینلیس سټیل پایپونه باید لومړی انتخاب وي.

(2) د پایپ موادو داخلي سطحه جذب کیږي او د ګاز په تحلیل کې لږ تاثیر لري. وروسته له دې چې د سټینلیس سټیل پایپ پروسس شي، د ګاز یوه ټاکلې اندازه به په فلزي جال کې وساتل شي. کله چې د لوړ پاکوالي ګاز له لارې تیریږي، د ګاز دا برخه به د هوا جریان ته ننوځي او د ککړتیا لامل شي. په ورته وخت کې، د جذب او تحلیل له امله، د پایپ داخلي سطحه فلزات به یو ټاکلی مقدار پوډر تولید کړي، چې د لوړ پاکوالي ګاز ته د ککړتیا سبب ګرځي. د پایپ کولو سیسټمونو لپاره چې د 99.999٪ یا ppb کچې څخه لوړ پاکوالی ولري ، د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپ (316L) باید وکارول شي.

(3) د سټینلیس سټیل پایپونو د پوښ مقاومت د مسو پایپونو په پرتله ښه دی ، او د هوا جریان تخریب له امله رامینځته شوي فلزي دوړې نسبتا لږ دي. د تولید ورکشاپونه چې د پاکوالي لپاره لوړې اړتیاوې لري کولی شي د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونه (316L) یا OCr18Ni9 سټینلیس سټیل پایپونه (304) وکاروي ، د مسو پایپونه باید ونه کارول شي.

(4) د پایپ کولو سیسټمونو لپاره چې د ګاز پاکوالي له 99.999٪ یا ppb یا ppt کچې څخه پورته وي ، یا په پاکو خونو کې د N1-N6 د هوا پاکوالي کچې سره د "پاک فابریکې ډیزاین کوډ" کې مشخص شوي ، الټرا پاک پایپونه یاEP الټرا پاک پایپونهباید وکارول شي. پاک کړئ "پاک ټیوب د الټرا نرم داخلي سطح سره".

(5) ځینې ځانګړي د ګاز پایپ لاین سیسټمونه چې د تولید په پروسه کې کارول کیږي په لوړه کچه ککړونکي ګازونه دي. د دې پایپ لاین سیسټمونو پایپونه باید د پایپونو په توګه د زنګ په وړاندې مقاومت لرونکي سټینلیس سټیل پایپونه وکاروي. که نه نو، پایپونه به د زنګ وهلو له امله زیانمن شي. که چیرې په سطح کې د زنګ ځایونه رامینځته شي ، نو عادي سیملیس فولاد پایپونه یا ګالوانیز ویلډ شوي فولادو پایپونه باید ونه کارول شي.

(6) په اصولو کې، د ګازو د پایپ لاین ټول ارتباطات باید ویلډیډ شي. څرنګه چې د ګالوانیز فولادو پایپونو ویلډینګ به د ګالوانیز پرت له منځه یوسي، د ګالوانیز فولاد پایپونه په پاکو خونو کې د پایپونو لپاره نه کارول کیږي.

د پورته فکتورونو په پام کې نیولو سره، د ګاز پایپ لاین پایپونه او والوز په &7 او پروژه کې غوره شوي په لاندې ډول دي:

د لوړ پاکوالي نایټروجن (PN2) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس فولادو پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي د بریښنایی پولش داخلي دیوالونو سره ، او والوز د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والوز څخه جوړ شوي.
د نایتروجن (N2) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس فولادو پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي د بریښنایی پولش داخلي دیوالونو سره ، او والوز د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والوز څخه جوړ شوي.
د لوړ پاکوالي هایدروجن (PH2) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس فولادو پایپونو (316L) څخه جوړ شوي د بریښنایی پولش داخلي دیوالونو سره ، او والوز د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والوز څخه جوړ شوي.
د لوړ پاک اکسیجن (PO2) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس فولادو پایپونو (316L) څخه د الیکٹرو پالش داخلي دیوالونو سره جوړ شوي ، او والوز د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والوز څخه جوړ شوي.
د ارګون (Ar) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس فولادو پایپونو (316L) څخه جوړ شوي چې د بریښنایی پولش داخلي دیوالونو سره دي ، او د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والوز کارول کیږي.
د هیلیم (He) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس فولادو پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي د بریښنایی پولش داخلي دیوالونو سره ، او والوز د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والوز څخه جوړ شوي.
د پاکې وچې کمپریس شوي هوا (CDA) سیسټم پایپونه د OCr18Ni9 سټینلیس فولادو پایپونو (304) څخه جوړ شوي د پولش داخلي دیوالونو سره ، او والوز د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والوز څخه جوړ شوي.
د تنفسي فشار شوي هوا (BA) سیسټم پایپونه د OCr18Ni9 سټینلیس فولادو پایپونو (304) څخه جوړ شوي د پولش داخلي دیوالونو سره ، او والوز د ورته موادو سټینلیس سټیل بال والوز څخه جوړ شوي.
د پروسس ویکیوم (PV) سیسټم پایپونه د UPVC پایپونو څخه جوړ شوي، او والوز د ویکیوم تیتلی والوز څخه جوړ شوي چې د ورته موادو څخه جوړ شوي دي.
د پاکولو ویکیوم (HV) سیسټم پایپونه د UPVC پایپونو څخه جوړ شوي، او والوز د ویکیوم تیتلی والوز څخه جوړ شوي چې د ورته موادو څخه جوړ شوي.
د ځانګړي ګاز سیسټم پایپونه ټول د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس فولادو پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي د بریښنایی پولش داخلي دیوالونو سره ، او والوز د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والوز څخه جوړ شوي.

3 د پایپ لاینونو جوړول او نصب کول
3.1 د "پاک فابریکې جوړونې ډیزاین کوډ" 8.3 برخه د پایپ لاین اتصال لپاره لاندې شرایط بیانوي:
(1) د پایپ اتصال باید ویلډیډ شي، مګر د ګرم ډپ ګالوانیز فولاد پایپونه باید تار شوي وي. د تار شوي ارتباطاتو مهر کولو مواد باید د دې مشخصاتو 8.3.3 مادې اړتیاوې پوره کړي.
(2) د سټینلیس سټیل پایپونه باید د ارګون آرک ویلډینګ او بټ ویلډینګ یا ساکټ ویلډینګ لخوا وصل شي ، مګر د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونه باید د بټ ویلډینګ په واسطه په داخلي دیوال کې نښه پرته وصل شي.
(3) د پایپ لاینونو او تجهیزاتو ترمینځ اړیکه باید د تجهیزاتو د پیوستون اړتیاو سره مطابقت ولري.
(4) د پایپ لاینونو او والوز ترمنځ اړیکه باید د لاندې مقرراتو سره مطابقت ولري

① د مهر کولو مواد چې د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونه او والوز سره نښلوي باید د تولید پروسې او د ګاز ځانګړتیاو اړتیاو سره سم د فلزي ګازکیټ یا ډبل فیرولز څخه کار واخلي.
②په تار یا فلانج اتصال کې د سیل کولو مواد باید پولیټرا فلورو ایتیلین وي.
3.2 د مشخصاتو او اړوندو تخنیکي اقداماتو اړتیاو سره سم ، د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونو پیوستون باید د امکان تر حده ویلډیډ شي. د ویلډینګ پرمهال باید د مستقیم بټ ویلډینګ څخه مخنیوی وشي. پایپ آستین یا بشپړ شوي جوټونه باید وکارول شي. د پایپ آستین باید د پایپونو په څیر د ورته موادو او داخلي سطح نرموالي څخه جوړ شي. د ویلډینګ په جریان کې ، د ویلډینګ برخې د اکسیډریشن مخنیوي لپاره ، خالص محافظتي ګاز باید د ویلډینګ پایپ ته معرفي شي. د سټینلیس سټیل پایپونو لپاره ، د ارګون آرک ویلډینګ باید وکارول شي ، او د ورته پاکوالي ارګون ګاز باید پایپ ته معرفي شي. د تار شوي پیوستون یا تار شوي پیوستون باید وکارول شي. کله چې فلجونه وصل کړئ ، فیرولز باید د تار شوي اتصال لپاره وکارول شي. د اکسیجن پایپونو او هایدروجن پایپونو پرته، کوم چې باید فلزي ګازیکونه وکاروي، نور پایپونه باید د پولیټرافلووروایتیلین ګازیکونه وکاروي. په ګاسکټونو کې د سیلیکون ربړ لږ مقدار پلي کول به هم اغیزمن وي. د سیل کولو اغیز ته وده ورکړئ. ورته اقدامات باید په پام کې ونیول شي کله چې د فلج اتصال رامینځته شي.
مخکې لدې چې د نصب کولو کار پیل شي ، د پایپونو مفصل لید معاینه ،سامانونه, والوز او نور باید ترسره شي. د عادي سټینلیس سټیل پایپونو داخلي دیوال باید د نصب کولو دمخه پاک شي. د اکسیجن پایپ لاین پایپونه، فټینګونه، والوز، او نور باید د تیلو څخه په کلکه منع شي، او د نصب کولو دمخه د اړونده اړتیاو سره سم باید په کلکه کم شي.
مخکې لدې چې سیسټم نصب شي او وکارول شي ، د لیږد او توزیع پایپ لاین سیسټم باید د تحویل شوي لوړ پاک شوي ګاز سره په بشپړ ډول پاک شي. دا نه یوازې د دوړو ذرات له مینځه وړي چې د نصب کولو پروسې په جریان کې په تصادفي ډول سیسټم ته راوتلي ، بلکه د پایپ لاین سیسټم کې د وچولو رول لوبوي ، د پایپ دیوال او حتی د پایپ موادو لخوا جذب شوي لندبل لرونکي ګاز برخه لرې کوي.

4. د پایپ لاین فشار ازموینه او منل
(1) وروسته له دې چې سیسټم نصب شي، د پایپونو 100٪ رادیوګرافیک معاینه باید په ځانګړي ګاز پایپ لاینونو کې خورا زهرجن مایع لیږدوي، او د دوی کیفیت باید د دویمې درجې څخه ټیټ نه وي. نور پایپونه باید د نمونې رادیوګرافیک معاینې تابع وي، او د نمونې تفتیش تناسب باید د 5٪ څخه کم نه وي، کیفیت باید د دریم درجې څخه ټیټ نه وي.
(2) د غیر ویجاړونکي معاینې له تیریدو وروسته ، د فشار ازموینه باید ترسره شي. د پایپ سیسټم وچوالي او پاکوالي ډاډ ترلاسه کولو لپاره ، د هیدرولیک فشار ازموینه باید ترسره نشي ، مګر د نیوماتیک فشار ازموینه باید وکارول شي. د هوا فشار ازموینه باید د نایتروجن یا کمپریس شوي هوا په کارولو سره ترسره شي چې د پاکې کوټې د پاکوالي کچې سره سمون لري. د پایپ لاین ازموینې فشار باید د ډیزاین فشار 1.15 ځله وي، او د ویکیوم پایپ لاین ازموینې فشار باید 0.2MPa وي. د ازموینې په جریان کې، فشار باید په تدریجي او ورو ورو زیات شي. کله چې فشار د ازموینې فشار 50٪ ته لوړ شي ، که چیرې کوم غیر معمولي یا لیک ونه موندل شي ، د ازموینې فشار 10٪ لخوا ګام په ګام فشار لوړولو ته دوام ورکړئ ، او فشار د ازموینې فشار پورې په هره کچه د 3 دقیقو لپاره ثبات کړئ. . فشار د 10 دقیقو لپاره ثبات کړئ، بیا د ډیزاین فشار ته فشار کم کړئ. د فشار بندیدو وخت باید د لیک کشف اړتیاو سره سم وټاکل شي. د فومینګ ایجنټ وړ دی که چیرې لیک نه وي.
(3) وروسته له دې چې د ویکیوم سیسټم د فشار ازموینې تیریږي ، دا باید د ډیزاین سندونو سره سم د 24 ساعتونو خلا درجې ازموینه هم ترسره کړي ، او د فشار کچه باید له 5٪ څخه زیاته نه وي.
(4) د لیکو ازموینه. د ppb او ppt درجې پایپ لاین سیسټمونو لپاره ، د اړوندو مشخصاتو سره سم ، هیڅ لیک باید وړ ونه ګڼل شي ، مګر د لیک مقدار ازموینه د ډیزاین په جریان کې کارول کیږي ، دا د لیک مقدار ازموینه د هوا د سختوالي ازموینې وروسته ترسره کیږي. فشار د کاري فشار دی، او فشار د 24 ساعتونو لپاره بند دی. په اوسط ډول په ساعت کې لیک د وړتیا په توګه د 50ppm څخه کم یا مساوي دی. د لیکو محاسبه په لاندې ډول ده:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
په فورمول کې:
یو ساعت لیک (%)
P1 - د ازموینې په پیل کې مطلق فشار (Pa)
P2 - د ازموینې په پای کې مطلق فشار (Pa)
T1 - د ازموینې په پیل کې مطلق تودوخه (K)
T2 - د ازموینې په پای کې مطلق تودوخه (K)