د ۹۰۹ پروژې ډېر لوی پیمانه مدغم سرکټ فابریکه زما د هیواد د الکترونیکي صنعت یوه لویه ساختماني پروژه ده چې د نهم پنځه کلن پلان په جریان کې به د ۰.۱۸ مایکرون کرښې پلنوالی او ۲۰۰ ملي میتر قطر سره چپس تولید کړي.
د خورا لوی پیمانه مدغم سرکټونو د تولید ټیکنالوژي نه یوازې د لوړ دقت ټیکنالوژۍ لکه مایکرو ماشینینګ پکې شامل دي، بلکې د ګاز پاکوالي ته لوړې اړتیاوې هم لري.
د پروژې ۹۰۹ لپاره د ګازو لوی عرضه د متحده ایالاتو د پراکسیر یوټیلیټي ګاز شرکت لمیټډ او په شانګهای کې د اړوندو خواوو ترمنځ د ګډ شرکت لخوا چمتو کیږي ترڅو په ګډه د ګازو تولید فابریکه جوړه کړي. د ګازو تولید فابریکه د ۹۰۹ پروژې فابریکې ودانۍ ته نږدې ده، چې شاوخوا ۱۵۰۰۰ مربع متره ساحه پوښي. د مختلفو ګازونو پاکوالي او تولید اړتیاوې
لوړ پاکوالی نایتروجن (PN2)، نایتروجن (N2)، او لوړ پاکوالی اکسیجن (PO2) د هوا د جلا کولو له لارې تولید کیږي. لوړ پاکوالی هایدروجن (PH2) د الکترولیسس له لارې تولید کیږي. ارګون (Ar) او هیلیم (He) له بهر څخه اخیستل کیږي. نیمه ګاز په پروژه 909 کې د کارولو لپاره پاک او فلټر شوی. ځانګړی ګاز په بوتلونو کې چمتو کیږي، او د ګاز بوتل کابینه د مدغم سرکټ تولید فابریکې په مرستندویه ورکشاپ کې موقعیت لري.
په نورو ګازونو کې د پاکې وچې کمپریس شوې هوا CDA سیسټم هم شامل دی، چې د کارولو حجم یې 4185m3/h دی، د فشار شبنم نقطه -70°C ده، او د کارولو په ځای کې د ګاز په دننه کې د ذراتو اندازه له 0.01um څخه زیاته نه وي. د تنفس شوي فشار شوي هوا (BA) سیسټم، د کارولو حجم 90m3/h، د فشار شبنم نقطه 2℃، د کارولو په ځای کې د ګاز په دننه کې د ذراتو اندازه له 0.3um څخه زیاته نه وي، د پروسس ویکیوم (PV) سیسټم، د کارولو حجم 582m3/h، د کارولو په ځای کې د خلا درجه -79993Pa. د پاکولو ویکیوم (HV) سیسټم، د کارولو حجم 1440m3/h، د کارولو په ځای کې د خلا درجه -59995 Pa. د هوا کمپریسر خونه او د ویکیوم پمپ خونه دواړه د 909 پروژې فابریکې په ساحه کې موقعیت لري.
د پایپ موادو او لوازمو انتخاب
هغه ګاز چې د VLSI په تولید کې کارول کیږي د پاکوالي خورا لوړې اړتیاوې لري.د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونهمعمولا په پاکو تولیدي چاپیریالونو کې کارول کیږي، او د دوی د پاکوالي کنټرول باید د کارول شوي ځای د پاکوالي کچې سره سم یا لوړ وي! سربیره پردې، د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونه ډیری وختونه په پاکو تولیدي چاپیریالونو کې کارول کیږي. خالص هایدروجن (PH2)، لوړ پاکوالي اکسیجن (PO2) او ځینې ځانګړي ګازونه د اور اخیستونکي، چاودیدونکي، د احتراق ملاتړ کونکي یا زهرجن ګازونه دي. که چیرې د ګاز پایپ لاین سیسټم په ناسم ډول ډیزاین شوی وي یا مواد په ناسم ډول غوره شوي وي، نو نه یوازې د ګاز په نقطه کې کارول شوي ګاز پاکوالی به کم شي، بلکې دا به هم ناکام شي. دا د پروسې اړتیاوې پوره کوي، مګر د کارولو لپاره یې ناامنه ده او پاکې فابریکې ته به د ککړتیا لامل شي، چې د پاکې فابریکې خوندیتوب او پاکوالي اغیزه کوي.
د کارونې په ځای کې د لوړ پاکوالي ګاز کیفیت تضمین نه یوازې د ګاز تولید، پاکولو تجهیزاتو او فلټرونو دقت پورې اړه لري، بلکې د پایپ لاین سیسټم کې د ډیری فکتورونو لخوا هم په لویه کچه اغیزمن کیږي. که موږ د ګاز تولید تجهیزاتو، پاکولو تجهیزاتو او فلټرونو باندې تکیه وکړو نو دا په ساده ډول غلط دی چې د ګاز پایپ سیسټم د ناسم ډیزاین یا موادو انتخاب لپاره د جبران لپاره بې حده لوړ دقت اړتیاوې وضع کړو.
د 909 پروژې د ډیزاین پروسې په جریان کې، موږ د "پاکو نباتاتو د ډیزاین لپاره کوډ" GBJ73-84 (اوسنی معیار (GB50073-2001) دی)، "د فشار شوي هوا سټیشنونو د ډیزاین لپاره کوډ" GBJ29-90، "د اکسیجن سټیشنونو د ډیزاین لپاره کوډ" GB50030-91، "د هایدروجن او اکسیجن سټیشنونو د ډیزاین لپاره کوډ" GB50177-93، او د پایپ لاین موادو او لوازمو د انتخاب لپاره اړونده تخنیکي اقدامات تعقیب کړل. "د پاکو نباتاتو د ډیزاین لپاره کوډ" د پایپ لاین موادو او والوز انتخاب په لاندې ډول ټاکي:
(۱) که چیرې د ګاز پاکوالی له ۹۹.۹۹۹٪ څخه زیات یا مساوي وي او د شبنم نقطه له -۷۶ درجو سانتي ګراد څخه ټیټه وي، نو د ۰۰Cr۱۷Ni۱۲Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپ (۳۱۶L) د الیکټرو پولش شوي داخلي دیوال سره یا د OCr۱۸Ni۹ سټینلیس سټیل پایپ (۳۰۴) د الیکټرو پولش شوي داخلي دیوال سره باید وکارول شي. والو باید د ډایفرام والو یا بیلو والو وي.
(۲) که چیرې د ګاز پاکوالی له ۹۹.۹۹٪ څخه زیات یا مساوي وي او د شبنم نقطه له -۶۰ درجو سانتي ګراد څخه ټیټه وي، نو د OCr18Ni9 سټینلیس سټیل ټیوب (304) باید د بریښنایی پولش شوي داخلي دیوال سره وکارول شي. د بیلو والوز پرته چې باید د احتراق وړ ګاز پایپ لاینونو لپاره وکارول شي، د بال والوز باید د نورو ګاز پایپ لاینونو لپاره وکارول شي.
(۳) که چیرې د وچې فشار شوې هوا د شبنم نقطه د -۷۰ درجو سانتي ګراد څخه ټیټه وي، نو د OCr18Ni9 سټینلیس سټیل پایپ (۳۰۴) باید د پالش شوي داخلي دیوال سره وکارول شي. که چیرې د شبنم نقطه د -۴۰ درجو څخه ټیټه وي، نو د OCr18Ni9 سټینلیس سټیل پایپ (۳۰۴) یا د ګرم ډوب ګالوانیز سیملیس سټیل پایپ باید وکارول شي. والو باید د بیلو والو یا بال والو وي.
(۴) د والو مواد باید د نښلونکي پایپ موادو سره مطابقت ولري.
د مشخصاتو او اړوندو تخنیکي اقداماتو اړتیاو سره سم، موږ په عمده توګه د پایپ لاین موادو غوره کولو پر مهال لاندې اړخونه په پام کې نیسو:
(۱) د پایپ موادو د هوا د نفوذ وړتیا باید کوچنۍ وي. د مختلفو موادو پایپونه د هوا د نفوذ مختلف وړتیا لري. که چیرې د هوا د نفوذ وړتیا لرونکي پایپونه غوره شي، نو ککړتیا نشي لرې کیدی. د سټینلیس سټیل پایپونه او د مسو پایپونه په اتموسفیر کې د اکسیجن د ننوتلو او زنګ وهلو مخنیوي کې غوره دي. په هرصورت، څرنګه چې د سټینلیس سټیل پایپونه د مسو پایپونو په پرتله لږ فعال دي، د مسو پایپونه په فضا کې رطوبت ته اجازه ورکولو کې ډیر فعال دي چې د دوی داخلي سطحو ته ننوځي. له همدې امله، کله چې د لوړ پاکوالي ګاز پایپونو لپاره پایپونه غوره کوئ، د سټینلیس سټیل پایپونه باید لومړی انتخاب وي.
(۲) د پایپ موادو داخلي سطحه جذب شوې ده او د ګاز په تحلیل کې لږ اغیزه لري. د سټینلیس سټیل پایپ پروسس کولو وروسته، د ګاز یو ټاکلی مقدار به د هغې په فلزي جالی کې وساتل شي. کله چې د لوړ پاکوالي ګاز تیریږي، د ګاز دا برخه به د هوا جریان ته ننوځي او د ککړتیا لامل کیږي. په ورته وخت کې، د جذب او تحلیل له امله، د پایپ داخلي سطحه فلز به د پوډر یو ټاکلی مقدار هم تولید کړي، چې د لوړ پاکوالي ګاز ککړتیا لامل کیږي. د پایپ سیسټمونو لپاره چې د 99.999٪ یا ppb کچې څخه پورته پاکوالي لري، د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپ (316L) باید وکارول شي.
(۳) د سټینلیس سټیل پایپونو د اغوستلو مقاومت د مسو پایپونو په پرتله ښه دی، او د هوا د جریان له امله رامینځته شوي فلزي دوړې نسبتا کمې دي. د تولید ورکشاپونه چې د پاکوالي لپاره لوړې اړتیاوې لري کولی شي د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونه (316L) یا OCr18Ni9 سټینلیس سټیل پایپونه (304) وکاروي، د مسو پایپونه باید ونه کارول شي.
(۴) د پایپ سیسټمونو لپاره چې د ګاز پاکوالی یې له ۹۹.۹۹۹٪ څخه پورته وي یا د ppb یا ppt کچه ولري، یا په پاکو خونو کې چې د هوا پاکوالي کچه یې د N1-N6 "پاک فابریکې ډیزاین کوډ" کې مشخص شوې وي، خورا پاک پایپونه یاد EP الټرا پاک پایپونهباید وکارول شي. "پاک ټیوب د خورا نرم داخلي سطحې سره" پاک کړئ.
(۵) د ګازو د پایپ لاین ځینې ځانګړي سیسټمونه چې د تولید په پروسه کې کارول کیږي خورا زنګ وهونکي ګازونه دي. د دې پایپ لاین سیسټمونو پایپونه باید د زنګ وهلو مقاومت لرونکي سټینلیس سټیل پایپونه د پایپونو په توګه وکاروي. که نه نو، پایپونه به د زنګ وهلو له امله زیانمن شي. که چیرې په سطحه د زنګ وهلو ځایونه رامینځته شي، نو عادي بې سیمه فولادو پایپونه یا ګالوانیز ویلډ شوي فولادو پایپونه باید ونه کارول شي.
(۶) په اصل کې، د ګازو د پایپ لاین ټولې اړیکې باید ویلډ شي. څرنګه چې د ګالوانیز فولادو پایپونو ویلډ کول به د ګالوانیز طبقه له منځه یوسي، نو د پاکو خونو کې د پایپونو لپاره د ګالوانیز فولادو پایپونه نه کارول کیږي.
د پورته عواملو په پام کې نیولو سره، د ګازو پایپ لاین پایپونه او والونه چې په &7& پروژه کې غوره شوي په لاندې ډول دي:
د لوړ پاکوالي نایتروجن (PN2) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې الیکټروپولش شوي دي، او والونه د ورته موادو د سټینلیس سټیل بیلو والونو څخه جوړ شوي دي.
د نایتروجن (N2) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې الیکټروپولش شوي دي، او والونه د ورته موادو د سټینلیس سټیل بیلو والونو څخه جوړ شوي دي.
د لوړ پاکوالي هایدروجن (PH2) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې الیکټروپولش شوي دي، او والونه د ورته موادو د سټینلیس سټیل بیلو والوز څخه جوړ شوي دي.
د لوړ پاکوالي اکسیجن (PO2) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې الیکټرو پالش شوي دي، او والونه یې د ورته موادو د سټینلیس سټیل بیلو والونو څخه جوړ شوي دي.
د ارګون (Ar) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې الیکټرو پولش شوي دي، او د ورته موادو سټینلیس سټیل بیلو والونه کارول کیږي.
د هیلیم (He) سیسټم پایپونه د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې الیکټروپولش شوي دي، او والونه د ورته موادو د سټینلیس سټیل بیلو والونو څخه جوړ شوي دي.
د پاکې وچې کمپریس شوې هوا (CDA) سیسټم پایپونه د OCr18Ni9 سټینلیس سټیل پایپونو (304) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې پالش شوي دي، او والونه د ورته موادو د سټینلیس سټیل بیلو والونو څخه جوړ شوي دي.
د تنفس کولو کمپریس شوي هوا (BA) سیسټم پایپونه د OCr18Ni9 سټینلیس سټیل پایپونو (304) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې پالش شوي دي، او والونه د ورته موادو د سټینلیس سټیل بال والونو څخه جوړ شوي دي.
د پروسې ویکیوم (PV) سیسټم پایپونه د UPVC پایپونو څخه جوړ شوي دي، او والونه د ورته موادو څخه جوړ شوي ویکیوم تیتلی والونو څخه جوړ شوي دي.
د پاکولو ویکیوم (HV) سیسټم پایپونه د UPVC پایپونو څخه جوړ شوي دي، او والونه د ویکیوم تیتلی والونو څخه جوړ شوي دي چې د ورته موادو څخه جوړ شوي دي.
د ځانګړي ګاز سیسټم پایپونه ټول د 00Cr17Ni12Mo2Ti ټیټ کاربن سټینلیس سټیل پایپونو (316L) څخه جوړ شوي دي چې داخلي دیوالونه یې الیکټروپولش شوي دي، او والونه یې د ورته موادو د سټینلیس سټیل بیلو والو څخه جوړ شوي دي.
۳ د پایپ لاینونو جوړول او نصب کول
۳.۱ د "پاک فابریکې د ودانیو د ډیزاین کوډ" ۸.۳ برخه د پایپ لاین اتصالاتو لپاره لاندې احکام بیانوي:
(۱) د پایپ اتصالونه باید ویلډ شوي وي، مګر د ګرم ډوب ګالوانیز فولادو پایپونه باید تار شوي وي. د تار شوي اتصالونو د سیل کولو مواد باید د دې مشخصاتو د 8.3.3 مادې اړتیاو سره سم وي.
(۲) د سټینلیس سټیل پایپونه باید د ارګون آرک ویلډینګ او بټ ویلډینګ یا ساکټ ویلډینګ له لارې وصل شي، مګر د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونه باید د بټ ویلډینګ له لارې وصل شي پرته له دې چې په داخلي دیوال کې نښې ولري.
(۳) د پایپ لاینونو او تجهیزاتو ترمنځ اړیکه باید د تجهیزاتو د اتصال اړتیاو سره سم وي. کله چې د نلی اتصال کاروئ، د فلزي نلیو څخه باید کار واخیستل شي.
(۴) د پایپ لاینونو او والوز ترمنځ اړیکه باید د لاندې مقرراتو سره سم وي
① د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونو او والوز سره نښلونکي سیل کولو مواد باید د تولید پروسې او ګاز ځانګړتیاو اړتیاو سره سم فلزي ګازکیټونه یا دوه ګونی فیرولونه وکاروي.
② د تار شوي یا فلانج اتصال کې د سیل کولو مواد باید پولیټرافلووروایتیلین وي.
۳.۲ د مشخصاتو او اړوندو تخنیکي اقداماتو اړتیاو سره سم، د لوړ پاکوالي ګاز پایپ لاینونو اتصال باید د امکان تر حده ویلډ شي. د ویلډنګ پرمهال باید د مستقیم بټ ویلډنګ څخه ډډه وشي. د پایپ آستین یا بشپړ شوي بندونه باید وکارول شي. د پایپ آستین باید د پایپونو په څیر د ورته موادو او داخلي سطحې نرموالي څخه جوړ شي. په کچه، د ویلډنګ پرمهال، د ویلډنګ برخې د اکسیډیشن مخنیوي لپاره، خالص محافظتي ګاز باید د ویلډنګ پایپ ته معرفي شي. د سټینلیس سټیل پایپونو لپاره، د ارګون آرک ویلډنګ باید وکارول شي، او د ورته پاکوالي ارګون ګاز باید پایپ ته معرفي شي. د تار شوي اتصال یا تار شوي اتصال باید وکارول شي. کله چې فلانجونه وصل کړئ، د تار شوي اتصال لپاره باید فیرولونه وکارول شي. د اکسیجن پایپونو او هایدروجن پایپونو پرته، کوم چې باید د فلزي اتصالونو څخه کار واخلي، نور پایپونه باید د پولیټرافلووروایتیلین اتصالونو څخه کار واخلي. په ګاسکیټونو کې د سیلیکون ربړ لږ مقدار پلي کول به هم اغیزمن وي. د سیل کولو اغیز لوړ کړئ. ورته اقدامات باید هغه وخت ونیول شي کله چې فلانج اتصالونه جوړ شي.
د نصبولو کار پیل کولو دمخه، د پایپونو مفصل بصري معاینه،فټینګونه، والونه او نور باید ترسره شي. د عادي سټینلیس سټیل پایپونو داخلي دیوال باید د نصب کولو دمخه اچار شي. د اکسیجن پایپ لاینونو پایپونه، فټینګونه، والونه او نور باید د تیلو څخه په کلکه منع شي، او د نصب کولو دمخه باید د اړوندو اړتیاو سره سم په کلکه کم شي.
مخکې لدې چې سیسټم نصب شي او کارول شي، د لیږد او توزیع پایپ لاین سیسټم باید په بشپړ ډول د لوړ پاکوالي ګاز سره پاک شي. دا نه یوازې هغه دوړو ذرات له منځه وړي چې په ناڅاپي ډول د نصب کولو پروسې په جریان کې سیسټم ته راوتلي، بلکې د پایپ لاین سیسټم کې د وچولو رول هم لوبوي، د پایپ دیوال او حتی د پایپ موادو لخوا جذب شوي رطوبت لرونکي ګاز یوه برخه لرې کوي.
۴. د پایپ لاین فشار ازموینه او منل
(۱) د سیسټم له نصبولو وروسته، د هغو پایپونو ۱۰۰٪ راډیوګرافیک معاینه باید ترسره شي چې په ځانګړو ګاز پایپ لاینونو کې خورا زهرجن مایعات لیږدوي، او د دوی کیفیت باید د دوهمې کچې څخه ټیټ نه وي. نور پایپونه باید د نمونې راډیوګرافیک تفتیش تابع وي، او د نمونې تفتیش تناسب باید له ۵٪ څخه کم نه وي، کیفیت باید د دریمې درجې څخه ټیټ نه وي.
(۲) د غیر تخریبي معاینې له تیریدو وروسته، د فشار ازموینه باید ترسره شي. د پایپ سیسټم د وچوالي او پاکوالي ډاډ ترلاسه کولو لپاره، د هیدرولیک فشار ازموینه باید ترسره نشي، مګر د نیوماتیک فشار ازموینه باید وکارول شي. د هوا فشار ازموینه باید د نایتروجن یا فشار شوي هوا په کارولو سره ترسره شي چې د پاکې خونې د پاکوالي کچې سره سمون ولري. د پایپ لاین د ازموینې فشار باید د ډیزاین فشار 1.15 ځله وي، او د ویکیوم پایپ لاین د ازموینې فشار باید 0.2MPa وي. د ازموینې په جریان کې، فشار باید په تدریجي او ورو ورو زیات شي. کله چې فشار د ازموینې فشار 50٪ ته لوړ شي، که چیرې هیڅ غیر معمولي یا لیک ونه موندل شي، نو د ازموینې فشار 10٪ لخوا ګام په ګام فشار زیاتولو ته دوام ورکړئ، او په هره کچه کې د 3 دقیقو لپاره فشار ثبات کړئ تر هغه چې د ازموینې فشار نه وي. د 10 دقیقو لپاره فشار ثبات کړئ، بیا فشار د ډیزاین فشار ته کم کړئ. د فشار بندولو وخت باید د لیک کشف اړتیاو سره سم وټاکل شي. د فوم کولو اجنټ وړ دی که چیرې لیک نه وي.
(۳) وروسته له دې چې د ویکیوم سیسټم د فشار ازموینه تیره کړي، نو باید د ډیزاین اسنادو سره سم د ۲۴ ساعته ویکیوم درجې ازموینه هم ترسره کړي، او د فشار کچه باید له ۵٪ څخه زیاته نه وي.
(۴) د لیکج ازموینه. د ppb او ppt درجې پایپ لاین سیسټمونو لپاره، د اړوندو مشخصاتو سره سم، هیڅ لیکج باید وړ نه وګڼل شي، مګر د لیکج مقدار ازموینه د ډیزاین په جریان کې کارول کیږي، دا ده چې د لیکج مقدار ازموینه د هوا د ټینګښت ازموینې وروسته ترسره کیږي. فشار د کاري فشار دی، او فشار د 24 ساعتونو لپاره ودرول کیږي. د ساعت اوسط لیکج د وړ په توګه د 50ppm څخه کم یا مساوي دی. د لیکج محاسبه په لاندې ډول ده:
الف=(۱-P۲T۱/P۱T۲)*۱۰۰/ټ
په فورمول کې:
د ساعت په اوږدو کې لیک (٪)
P1 - د ازموینې په پیل کې مطلق فشار (Pa)
P2 - د ازموینې په پای کې مطلق فشار (Pa)
د ازموینې په پیل کې T1- مطلق تودوخه (K)
د ازموینې په پای کې T2- مطلق تودوخه (K)
د پوسټ وخت: دسمبر-۱۲-۲۰۲۳